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Chariot de transport de Wafers - Semiconducteurs

Marion Mise à jour 27 avril 2023 4 minutes de lecture

Chariot de transport de Wafers – Semi-conducteurs Les industries de semi-conducteurs doivent se doter des équipements adéquats et sur mesure pour la manipulation et le transport des pods/foups. En effet, ces produits…

Robots pour manipulation sécurisée de wafers de 200 / 300 mm

Chariot de transport de Wafers – Semi-conducteurs

Les industries de semi-conducteurs doivent se doter des équipements adéquats et sur mesure pour la manipulation et le transport des pods/foups. En effet, ces produits sont fragiles. Pour assurer leur intégrité durant le processus de fabrication, ils doivent recourir au chariot de transport de pods/foups.

Chariot de transport de Wafers – Semi-conducteurs

La fabrication des semi-conducteurs se déroule en trois étapes essentielles :

  • Le traitement initial.
  • Le traitement final.
  • L’assemblage final.
  • Les tests.

Les pods/foups font l’objet d’une manipulation et d’un transport entre ces diverses étapes du processus de fabrication. Ces opérations nécessitent des équipements spécifiques pour protéger les tranches de silicium et pour assurer leur intégrité. Parmi ces équipements figure le chariot de transport de wafers.

Cette solution de manutention et de transport de wafers dispose de ses propres caractéristiques. Elle est dotée d’un chariot élévateur motorisé servant à manipuler les semi-conducteurs entre les machines de process. Pour qu’elle puisse manipuler des wafers de diverses tailles, elle intègre également une plateforme de transport avec quatre rouleaux réglables en hauteur. Un wafer est en mesure de réaliser un mouvement avant/arrière sur la plateforme grâce aux moteurs qui équipent les deux des rouleaux. La sécurité des pods/foups est assurée durant le transport grâce au dispositif de verrouillage les maintenant en place. Le chariot est également muni d’un système d’amortisseur breveté qui amortit les vibrations et les chocs durant le transport. Ainsi, les wafers ne risquent pas d’être détériorés lors de leur transport.

Les avantages des systèmes AMR pour le transport de pods/foups

Le transport des pods/foups est généralement réalisé par des systèmes Autonomous Mobile Robots (AMR). Il s’agit d’une version avancée de chariot de transport de wafers dans la mesure où ils bénéficient de la technologie robotique collaborative. Ils sont en mesure de transporter en toute autonomie des pods/foups, sans aucune intervention humaine.

Intégrer des systèmes AMR dans votre ligne de production de semi-conducteurs vous permet de gagner en efficacité opérationnelle, en agilité et en flexibilité. La productivité de votre entreprise est optimisée grâce à une vitesse de travail plus élevée. De plus, les erreurs humaines sont réduites considérablement durant la manipulation des pods/foups. En fin de production, les rebuts et ainsi les pertes diminuent. Par ailleurs, l’automatisation du transfert des wafers optimise votre compétitivité puisque les coûts de production sont réduits. Les opérateurs sont également déchargés des tâches pénibles et ennuyeuses. Ils peuvent être affectés à des postes plus valorisants.

Le déploiement de la technologie AMR vous présente d’autres avantages :

  • L’optimisation de la sécurité des wafers durant le transport grâce au dispositif de verrouillage dont le chariot est équipé ;
  • Un gain en flexibilité grâce à la capacité de la plateforme de transport à accueillir des wafers de diverses tailles.

Automatisation et robotisation : transformation vers l'industrie 4.0

L’automatisation et la robotisation de votre processus de fabrication de semi-conducteurs constituent l’étape essentielle pour le basculement vers l’industrie 4.0. Pour moderniser vos unités de production, l’intégration du chariot de transport de wafers est l’une des solutions. Pour y procéder, vous devez faire appel à un fabricant spécialiste des solutions robotiques industrielles. Dans cette optique, privilégiez un fabricant français. Ce dernier est en mesure de vous fournir un bureau d’études capable d’analyser votre projet et de vous offrir des solutions de manipulation et de transport de wafers sur mesure. Ce bureau est constitué d’experts qui vont étudier, développer, intégrer, modifier et moderniser vos équipements industriels. Outre les systèmes de robots mobiles autonomes (AMR), les ingénieurs peuvent également vous fournir d’autres solutions, comme le manipulateur mobile (Comobot™) ou encore les stations HBIN/HBOUT.

Pour obtenir plus d’informations sur la robotisation d’une industrie de semi-conducteurs, n’hésitez pas à nous contacter. Nous transmettrons vos questions ou votre demande de devis à nos partenaires !

 

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