Dans les industries de semi-conducteurs, le transport des lots d’un emplacement vers un autre constitue l’une des étapes critiques du processus de fabrication. Ce transport doit être réalisé délicatement pour garantir l’intégrité des wafers. Il doit également être assez rapide pour maintenir la productivité de la ligne. L’intégration du système OHT dans la ligne de production est la solution pour faciliter le transport des lots. Il s’agit d’un système de chargement automatisé des tools et transport intrabay (OHT).
Introduction au Système OHT : Un aperçu complet de la technologie
Nombreux sont les facteurs qui déterminent la performance d’une ligne de production de semi-conducteurs. Parmi ceux-ci figurent l’agencement, la configuration et les contraintes d’agencement des machines. Sans oublier la technologie de chargement et de transport de lots utilisée.
La solution la plus innovante et la plus performante est l’Automated Material Handling System (AMHS), un exécuteur d’ordre de transport que vous pouvez intégrer dans votre ligne de production. L’AMHS est relié au Manufacturing Execution System (MES), un système qui le commande et le gère. Le MES apparait comme le donneur d’ordre et l’AMHS comme exécuteur d’ordre. Le système de chargement et de transport des lots est également constitué de l’Execution Control System (ECS), le manager de l’information.
Plusieurs types de solutions AMHS existent en ce moment. Parmi les plus utilisées par les industries de fabrication de semi-conducteurs figure l’Overhead Hoist Transport (OHT). Il s’agit d’un système de chargement et de transport de lots installé au plafond et qui est guidé par des rails. Il assure un gain d’espace au sol qui peut être dédié aux machines et aux opérateurs.
Applications du Système OHT dans l’industrie moderne
Le rôle du système de chargement de tools et de transport intrabay est de charger les OHT en lots, de les transporter et de les stocker. Les transports des lots sont gérés par zone, également appelée « baie ». Une unité de contrôle gère chaque zone. Celle-ci analyse et gère les requêtes de transport. Les unités de contrôle installées dans diverses baies communiquent entre elles. Elles s’envoient mutuellement des données sur le nombre des OHT disponibles dans la zone, le nombre de requêtes de transport en cours de traitement, le nombre des OHT nécessaires pour réaliser ces requêtes. L’unité de contrôle est le garant du bon fonctionnement du système OHT. Elle assure la bonne réalisation des requêtes en prenant en compte les ressources de transport disponibles. Dans le cas où il n’y a pas assez d’OHT dans une zone où les requêtes sont très élevées, l’unité y envoie immédiatement les OHT en excès dans les autres zones.
L’intégration des systèmes de transport par palan aérien (OHT) nécessite l’installation des rails au plafond. Ceux-ci servent de guide. Les OHT se déplacent grâce aux moteurs dont ils sont équipés. Ils sont alimentés par des câbles. Ils sont munis d’un bras mécanique qui sert au chargement et au déchargement des lots. Le bras ne peut prendre qu’un seul lot à chaque action. Un lot contient entre 1 et 25 plaquettes de wafers ou de semi-conducteurs.
Défis et solutions pour l’implémentation du Système OHT
L’intégration du Système OHT dans une ligne de production présente un certain nombre de défis. Le premier concerne le coût du projet, qui est assez élevé, notamment si l’entreprise envisage d’installer de nombreuses baies. Cependant, cette solution de chargement et de transport de tools assure un retour rapide sur investissement grâce à la réduction des coûts de production et à une cadence de travail plus élevée. De plus, l’OHT maintient l’intégrité des wafers. Les rebuts en fin de ligne diminuent. La solution réduit alors les pertes. Pour intégrer le système OHT dans votre ligne de production, pensez à bien choisir le concepteur et fabricant.
Obtenez un devis gratuit en envoyant une demande via notre site. Nos partenaires vous fourniront rapidement un devis personnalisé.
