Une boîte à gants pour dépôt de couches minces peut intégrer les bâtis d’évaporation sous vide par effet Joule, qui sont utilisés dans diverses application de dépôt de couches minces d’oxydes (SiO2, HfO2, Al2O3…) et de métaux métalliques (Au, Pt, Ti, Cr, Al, Li…). Ces évaporateurs thermiques sont très présents dans le domaine de la métallisation.

Les caractéristiques d’une boîte à gants pour dépôt de couches minces

Jacomex a développé une boîte à gants à atmosphère contrôlée, permettant le dépôt de couches minces. Il s’agit du modèle adapté pour intégrer des bâtis d’évaporation, la boite à gants GP[concept]. Cette boîte à gants est dotée d’une unité de purification permettant l’élimination en continu des traces d’oxygène et d’humidité à des teneurs à 1 ppm ou moins.

Cette unité de purification fait partie de la gamme P[sys] qui est un épurateur de gaz (N2, Ar) de grande capacité, avec régénération automatique, circulateur à débit variable, mode Energy Saving 24/24 en continu et régulation de pression automatique. Pour faciliter son utilisation avec des conditions de travail optimales, d’autres fonctionnalités sont possibles : exportation des données, historique, alarmes, etc.

Les unités d’épuration se présentent sous deux modèles : à simple ligne, avec suffisamment de capacité d’épuration pour travailler confortablement sur la durée sans avoir besoin de régénération, à double ligne pour sécuriser, sans interruption, l’environnement de travail à 1 ppm. La boîte à gants intègre également deux sas à vide (Ø400 et Ø150 mm), qui sont connectés à une pompe à vide (type pompe sèche ou pompe primaire à palettes). Ces sas peuvent être également chauffants, suivant les besoins.

Prévoir des sas à vide en Té est également possible en cas de connexion à une autre boîte à gants utilisée dans des phases de préparation, de dépôt ou caractérisation des substrats. Ces cas permettre le transfert d’échantillons d’une boîte à gants vers l’autre et l’introduction de matériels de l’extérieur. Le modèle existe en diverses longueurs (2, 3, 4 gants) et deux configurations : simple ou double face.

Le suivi en continu sur écran de la pureté de l’atmosphère est possible grâce à des capteurs O2 et H2O.

Pour permettre la gestion du pompage avec basculement du vide primaire au vide secondaire automatiquement, un seul et même appareillage peut intégrer un système de pilotage compact, avec pupitre automate tactile ou équivalent, avec pupitre opérateur et automate, avec affichage de la pression dans la boîte à gants pour dépôt de couches minces.

Besoin d’en savoir plus sur la boîte à gants GP[concept]

La boîte à gants qui a été décrite plus haut est l’une des solutions que l’entreprise Jacomex propose en partenariat avec l’entreprise Alliance Concept. Il s’agit d’une boîte à gants pour le dépôt de couches minces de matériaux métalliques dans une atmosphère purifiée.

L’entreprise peut également élaborer des solutions pour la déposition par d’autres procédés, l’évaporation de matériaux organiques et les techniques de caractérisation. Vous pouvez découvrir les détails sur la GP[concept] ainsi que les différents systèmes de purification P[sys] proposés par la société Jacomex.